Brigitte & Matthias Schirmer
Managing partners
ALLRESIST GmbH
Jun. 18, 2019
IVAM InSide
Brigitte & Matthias Schirmer
Managing partners
ALLRESIST GmbH

Vom Employee Buyout zur Business Excellence

Der Durchbruch unseres wirtschaftlichen Erfolges kam 2007 mit der Entscheidung, Business Excellence anzustreben. Wichtig für uns war dabei jedoch nicht der Erfolg nach dem Prinzip der Gewinnmaximierung. 

Umsätze schnellen so zwar kurzfristig in die Höhe, verglühen dann aber oft wie Strohfeuer und verbrennen damit auch langfristige partnerschaftliche Kundenbindungen.

Im EFQM-Modell  fanden wir einen Wegweiser, wie humanistische Ideen mit wirtschaftlichen Spitzenleistungen vereinbar sein können. 

„Ethik und Gewinn widersprechen sich nicht, es kommt nur drauf an, was man aus ihm macht“ (Ulrich Wickert) 

Der Höhepunkt auf unserem Weg zur Business Excellence war die Verleihung des Ludwig-Erhard-Preises 2012, mit dem die nachhaltige unternehmerische Spitzenleistung Allresists gewürdigt wurde. Das war für uns der Gewinn der Deutschen Meisterschaft! Wie hart jedoch musste der Erfolg erkämpft werden? Sehr hart, können wir rückwirkend sagen. Es brauchte dazu Visionäre und den unbedingten Willen, das zu schaffen. Entschuldigung, Helmut Schmidt!

Wer Visionen hat, sollte zum Arzt gehen“ (Helmut Schmidt)

Die Wurzeln der Allresist liegen in der DDR der frühen achtziger Jahre

Aber wann begann unser Weg zur Business Excellence, etwa mit der Firmengründung 1992? Nein, denn die Wurzeln der Allresist liegen sehr viel weiter zurück. Eigentlich begann die Firmengeschichte 1981, als dem jungen Chemiker Matthias Schirmer in den Fotochemischen Werken Berlin die Laborantin Brigitte Heidolph zugeteilt wurde. Bald beschränkte sich das gemeinsame Leben nicht nur auf das Labor.

Das frisch gebackene Ehepaar Schirmer am 9.5.1983 Quelle: privat

Drei Kinder später war Brigitte Schirmer Chemie-Ingenieurin in der Photolackproduktion und Matthias Schirmer Leiter der Forschungsgruppe Photolacke. Damaliges DDR-Ziel war es, den RGW, also die Ostblockstaaten, mit Photolacken aus der 1986 neu errichteten Anlage zu versorgen. Zu diesem Zweck wurde seit den siebziger Jahren intensive Grundlagenforschung betrieben. 

Wendepunkt Wende 1989

Die Wende 1989 und die folgende Währungsunion 1990 veränderte in der DDR jedoch vieles, so auch in den Fotochemischen Werken. Die Umsätze brachen ein und die großen Konkurrenten wie die Schweizer Clariant AG oder die amerikanische Shipley Corporation, die nach 1990 zu Besuch kamen, gingen beruhigt nach Hause. Die Fotochemischen Werke mit ihrer Photolackproduktion waren einerseits keine Gefahr auf dem nun gemeinsamen Resist-Markt, aber andererseits aus ihrer Sicht auch nicht interessant genug für eine Zusammenarbeit oder gar Übernahme.

Die beiden Großunternehmen hatten sich das Know-how jedoch nur aus der Sicht des Massenmarktes angesehen. Da in der DDR aufgrund des Rohstoffmangels (durch Embargo) schon immer kreative Lösungen unabdingbar waren, stand 1992 ein sehr breites Know-how von Speziallacken in hoher Qualität zur Verfügung – auch aus unternehmerischer Sicht wäre es folglich jammerschade gewesen, dieses nicht weiter zu nutzen. 

Allresist erbrachte schließlich in den folgenden 26 Jahren den Nachweis, dass es durchaus gelingen kann, die Gründung auf einem soliden technologischen und innovativen Fundament aufzubauen. Jeder verkaufte Lack wurde vor Ort selbst entwickelt, produziert und vertrieben.

1991 wurden die nach dem 2. Weltkrieg enteigneten Fotochemischen Werke an die Kodak AG rückübereignet. Kodak zeigte keine Ambitionen, die wirtschaftlichen Aktivitäten weiterzuführen, sondern war nur an dem lukrativen Industriegelände in Berlin am Wasser interessiert. Dort wurden dann mehrere Wohnparks mit exzellentem Reingewinn realisiert. Somit war es beschlossene Sache, die Lackproduktion in Berlin Köpenick 1992 zu schließen.

Gründungsvision: Eine neue Zukunft schaffen und Know-How erhalten

Um das auf Weltniveau stehende Resist-Know-how zu erhalten und für sich und andere engagierte Kollegen eine neue Zukunft zu schaffen, gründeten Matthias und Brigitte Schirmer am 16. Oktober 1992 die Allresist GmbH. 

Beide waren in ihrem Werdegang durch die DDR geprägt und sehr zwiespältig, ob etwas daraus werden könnte. Nun ein Unternehmen gründen, in einer völlig anderen Gesellschaftsform mit unüberschaubaren Risiken? 

Folgender Vergleich hilft, eine weitere Facette der DDR besser zu verstehen: In der Kirche leisten bis heute viele engagierte Gläubige und Pfarrer vor Ort eine lobenswerte Arbeit. Je höher Funktionsträger jedoch in der Hierarchie stehen, desto größer werden oftmals auch die Verfehlungen – leider ein aktuelles Thema – und auch die Verkrustungen, die alten und überholten Dogmen nicht ändern zu wollen. 

Ähnlich war es in der DDR. Zahlreiche junge Menschen –  wie auch wir –  setzen sich für die Verbesserung der Gesellschaft ein, und umso bitterer war es, von der alten, unfähigen Führungsgarde der DDR ausgebremst zu werden. Neue Strukturen waren gefragt – und die eröffneten sich nach dem Niedergang der DDR in Hülle und Fülle.

Auf dem Weg: Enthusiasmus und Gründergeist 

Wir waren 1992 noch jung und hungrig genug, um unseren Enthusiasmus zu behalten und nicht in die Resignation vieler Älterer zu verfallen. Die Idee, ein innovatives und wirtschaftlich erfolgreiches, jedoch auch sozial und ökologisch agierendes Unternehmen zu schaffen, begleitete uns von Anfang an. 

Die Chancen für ein Gelingen schätzten wir höher ein als die Risiken, und so bauten wir mit den damaligen Kollegen und heutigen Mitarbeitern gemeinsam unser Unternehmen auf. Nach und nach kamen junge, bestens ausgebildete Mitarbeiter dazu. Innovativ auf die Kunden ausgerichtet bieten die „Allresistler“ bis heute nahezu „alle Resists“ an. 

Regelmäßig weitergebildet und inspirierend geführt, sind Mitarbeiter als echte Partner in die Prozesse und Entscheidungen einbezogen und gestaltet diese aktiv mit. Mit ihnen gemeinsam bauten wir uns ein Leitbild mit einer nachhaltigen Strategie auf. Dem ökologischen Gedanken folgend ersetzten wir bereits 1997 freiwillig umweltgefährdende Stoffe, sind seit 2011 umweltzertifiziert und seit 2012 aktiver Umweltpartner des Landes Brandenburg.

Die Gründung der Allresist

Entschlossen, den offensichtlich doch schwierigen Weg zu meistern, kratzten wir 1992 alle unsere Mittel zusammen, um die notwendige Zahlung von 25.000,- DM zur Gründung der Allresist GmbH aufzubringen. Mit drei kleinen Kindern häuft man keine Reichtümer an, daher lösten wir alle kapitalbringenden Versicherungen und Geldanlagen auf, sogar die von den Großeltern für ihre Enkel angelegten Sparbücher. 

Somit waren unsere Kinder die ersten „Kleinaktionäre“ – die schließlich nach 9 Jahren ihre Sparguthaben mit Zinseszins wieder von uns zurückbekamen. 

„Kleinaktionäre“ mit Mama 1992, Quelle: Privat

Ohne langfristigen Gewerbemietvertrag, ohne Kredit und mit viel zu wenig Ahnung vom Management begannen wir also. Die Reste der Photolack-Abteilung der Fotochemischen Werke wurden von der Belegschaft durch einen Employee Buyout übernommen. 

Nun ja, ehrlich gesagt waren es in Wirklichkeit nur wir beiden, denn die anderen damaligen Mitarbeiter fanden angesichts des unüberschaubaren Risikos nicht den Mut. Unsere große Chance waren die Unternehmen der Mikroelektronik der DDR. Wenn auch oft belächelt ... 

„Die Mikroelektronik der DDR ist nicht klein zu kriegen“

Es existierten auch damals bereits technologisch gut aufgestellte Betriebe. Zu unserem Glück kauften diese in den ersten Jahren (weiter) bei uns. Jedoch wurden diese Firmen in den nachfolgenden Jahren Schritt für Schritt von großen Mikroelektronik-Unternehmen aufgekauft, die oft ihren eigenen Einkauf mitbrachten und uns leider oft keine Chancen gaben. 

Doch wir eroberten unbeirrt und leidenschaftlich Zug um Zug mit unserem wachsenden Know-how an Speziallacken neue Kunden, die nach wie vor die auf ihre Technologie maßgeschneiderten Resists zu schätzen wissen. Verbunden mit einer individuellen Technologieberatung haben wir die Kunden dort abgeholt, wo sie unser Wissen brauchten. 

Aus dieser Strategie haben sich viele langjährige Partnerschaften bis heute entwickelt, die nunmehr ein Alleinstellungsmerkmal für uns generierten. Durch unsere weitverzweigte Resistforschung seit den 70er Jahren hatten wir ein enormes Wissen angehäuft und konnten viele zukunftsträchtige wissenschaftliche Projekte zusammen mit unseren Partnern initiieren.

Diese Projekte wurden in den neunziger Jahren besonders großzügig gefördert; 1996 lag unser Anteil an Fördermitteln bei 40 % vom Gesamtumsatz (heute sind es etwa 7 %). Für diese Unterstützung sind wir den Ministerien und dem Land Brandenburg äußerst dankbar, denn so konnte unsere Produktpalette stetig wachsen, um neue innovative Produkte von Weltrang zu entwickeln.

Voraussetzung für Excellence? Gutes langjähriges Qualitätsmanagement! 

Die Voraussetzung für ein Business Excellence-Unternehmen ist ein gutes langjähriges Qualitätsmanagement. Wir nutzen bis heute die internen und externen Audits als Chance zur weiteren Verbesserung. Natürlich prüfen wir alle Unterlagen vor einem Audit noch einmal sorgfältig, aber Geschäftsplan, Balanced Score-Card, Risikoanalyse und eine mit dem Marketing verbundene Forschungskonzeption sind bei uns schon immer lange vor dem Audit zu Jahresbeginn fertig, weil wir diese zur Steuerung des Unternehmens in unserem Sinne einfach benötigen.

Beginn der Excellence

In den folgenden Jahren entwickelte sich die inzwischen in Strausberg ansässige Firma langsam, aber stetig. Es gab keinen Grund zur großen Sorge, jedoch auch keine langfristige Sicherheit. Als Brigitte Schirmer 2007 auf das EFQM-Modell aufmerksam wurde, erkannte sie schnell das riesige Potenzial für die Unternehmensentwicklung. 

EFQM steht für die Abkürzung „European Foundation for Quality Management“. Die European Foundation 
for Quality Management führte dieses europäische Managementsystem für ein besonders 
hochentwickeltes Qualitätsmanagement ein. Quelle: Allresist/Internet

Der Grundgedanke „eine exzellente Win-Win-Situation mit allen Partnern“ zu erzielen, entsprach auch den Grundwerten, mit denen die Firma damals gegründet wurde. Das Ehepaar Schirmer, zugleich Geschäftsführer und Gesellschafter der Allresist, war sich einig, den Weg der Excellence zu gehen. Dabei war und ist Brigitte Schirmer noch immer als Vollblutvisionärin die Treiberin des Prozesses. Das Verstehen der Forderungen des EFQM-Modells, alle Prozesse bis zum Ende zu durchdenken und nach dem PDCA-Zyklus zu bewerten, ergab ein neues Verständnis für die Führung des Unternehmens. 

Der PDCA-Zyklus „beschreibt einen iterativen vierphasigen Prozess für Lernen und Verbesserung des US-amerikanischen Physikers W.A. Shewhart. PDCA steht […] für das Englische Plan – Do – Check – Act, was […] mit ‚Planen – Tun – Überprüfen – Umsetzen‘ oder ‚Planen –Umsetzen – Überprüfen – Handeln‘ übersetzt wird.“ (Quelle: https://de.wikipedia.org/wiki/Demingkreis, 12.06.2019) Abbildung/Quelle: https://claireoberwinter.com/pdca-zyklus/, 12.06.2019)

Wichtig war für uns, von Anfang an alle Mitarbeiter auf diesem Weg mitzunehmen. Aber es dauerte fast fünf Jahre, um unsere Belegschaft mit dem Excellence-Gedanken komplett „anzustecken“. Hinderlich war für die Mitarbeiter zunächst die etwas sperrige Sprache des Qualitätsmanagements und eine unbegründete Furcht, perfekt werden zu müssen. Wir verwendeten deshalb viel Zeit, um die Anregungen der Excellence in eine „normale“ Sprache zu übersetzen und die acht Grundkonzepte der Excellence auf Allresist zu übertragen. 

Die 8 Grundkonzepte der Excellence (EFQM) 
Quelle: Allresist, angelehnt an http://www.efqm.ch/grundkonzepte.html

Schon bald erkannten unsere Mitarbeiter, dass sich neben den beginnenden öffentlichen Auszeichnungen und Preisen (2008 2. Platz Qualitätspreis Berlin-Brandenburg, 2009 2. Platz LEP, 2010 Gewinner Qualitätspreis Berlin-Brandenburg) auch die Prozesse und wirtschaftlichen Ergebnisse deutlich verbesserten. Damit einher gingen Gehaltserhöhungen, Regelungen zur Altersvorsorge und vielfältige, teils auch steuerfreie Zulagen.

Zulagen-/Prämiensystem bei Allresist 
Entsprechend unserem Credo: Geht es dem Unternehmen gut, soll es auch den Mitarbeitern gut gehen 

  • Monatliche umsatz- und ertragsabhängige Zulagen
  • Jährliche umsatz- und ertragsabhängige Zulagen im Sinne einer Jahresendprämie
  • Zulagen für termingemäß erfüllte Qualitätsziele zum Jahresende
  • Monatliche Zulagen für aktive Stellvertretungsregelung
  • Jährliche Urlaubsprämien
  • Jährliche Gesundheitsprämie bei nicht erkrankten, hälftig bei kaum erkrankten Mitarbeitern bis 5 AT
  • Sonderprämien bei sehr guter Zielerfüllung bzw. nach besonderen Situationen
  • Jährliche „Bilanzplatzprämie“ bei sehr guter Bilanz
  • Monatlicher steuerfreier Einkauf von 44 €
  • Jährlicher steuerfreier Fahrtkostenzuschuss
  • Jährliche steuerfreie Präventionsleistung von 400 €
  • Long Life-Prämie bei neuen dauerhaften Maßnahmen zur Gesunderhaltung/Fitness
  • Sportprämien ab 30 Stunden pro Quartal
  • Prämien für umgesetzte Verbesserungsvorschläge

Sogar im Krisenjahr 2009, in dem auch unsere Umsätze einbrachen, erwirtschafteten wir einen kleinen Gewinn, weil wir schon zu Jahresanfang energisch gegensteuerten.

Erfolg aus kreativer Innovation heraus

Unser Alleinstellungsmerkmal ist die Resistentwicklung nach Kundenwunsch. Mit hohem Know-how und großer Flexibilität gelingt unserem Team die kostengünstige Fertigung technologieangepasster Resists in kurzer Zeit. Außerdem entwickelt unsere Forschungsabteilung unter Leitung des Geschäftsführers innovative Produkte für Zukunftstechnologien wie zum Beispiel 

  • E-Beam-Resist CSAR 62 (ZEP-Alternative) mit Auflösungen von weniger als 10 nm.
  • 2014 erhielten wir mit der Produktinnovation CSAR 62 den Brandenburger Innovationspreis.
  • 2015 kam der leitfähige Lack Electra 92 (Espacer-Ersatz) zur Ableitung prozessbedingter Aufladungen in der E-Beam-Lithographie hinzu.
  • Der 2017 entwickelte, thermisch strukturierbare Phoenix 81 ist weltweit der einzige Resist, mit dem auf dem NanoFrazor (SwissLitho AG) Strukturen bis zu 10 nm geschrieben werden können.
  • Eine weitere Neuentwicklung ist der äußerst stabile Negativresist Atlas 46, der dem SU-8 entspricht, jedoch durch seine erweiterten Eigenschaften über zusätzliche Anwendungsmöglichkeiten verfügt.
  • Der wohl größte Erfolg ist Allresist jedoch 2018 mit dem Resist Medusa 82 gelungen, der im Gegensatz zum weltweit bekannten HSQ über eine sehr hohe Prozessstabilität verfügt und bis zu 20-mal empfindlicher eingestellt werden kann.

Die seit 2013 entwickelten Produktinnovationen machen inzwischen 1/3 des Umsatzes aus. Und unsere Entwicklungen gehen weiter!

Stetig wachsende Produktanfragen unserer Kunden und die zunehmenden Anforderungen der Polymersynthese zur Herstellung der Resists erforderten 2018 eine erneute deutliche Produktionserweiterung:

Synthesevorbereitung am Reaktor in der neuen Produktion. Fotografin: Julia Otto
Kleinansätze im neuen Labor. Fotografin: Julia Otto

Zeitgleich mit der Einweihung des 450 m²-großen Anbaus feierte das Allresist-Team sein 26. Firmenjubiläum. Zur Freude aller Mitarbeiter gibt es nun einen schön bepflanzten und mit einem Naturmotiv geschmückten Lichthof für die Pausengestaltung.

Mittag im Lichthof. Fotografin: Julia Otto
Blick links zum Gründach und rechts zur Photovoltaikanlage, darunter zum Lichthof. Fotografin: Julia Otto
Erweitertes Firmengebäude mit neuem Liefereingang. Fotografin: Julia Otto

Außerdem existiert auf unserem neuen Dach neben der Photovoltaikanlage auch ein 300 m² großes Gründach mit vielen verschieden Stauden, das Vögeln und Insekten Lebensraum gibt, Luftschadstoffe filtert und durch die verbesserte Wärmedämmung im Gebäude Energie spart. Außerdem erhöht das begrünte Dach den Wirkungsgrad der in unmittelbarer Nähe gelegenen Photovoltaikanlage, die seit 2015 jährlich dabei hilft, rund 21 Tonnen klimaschädliches CO2 zu vermeiden. Einen Großteil des sauberen Stroms nutzt Allresist für die stetig steigende Produktion. Für 2020 planen wir einen großen Stromspeicher, der uns noch stärker unabhängig vom üblichen Strom machen wird.

 

Die Ernte

Wir sind überzeugt, dass wir ohne Business Excellence-Modell die Erfolge nicht hätten realisieren können:

  • Die 12 seit 2008 errungenen vielfältigen Preise und Auszeichnungen haben uns immer weiter in unserer Entwicklung vorangebracht und uns darüber hinaus weltweit bekannt gemacht.
     
  • Unser Umsatz stieg von 2008 bis 2018 stetig auf das 3-fache, der Gewinn sogar um das 7-fache.
     
  • Auch unsere Exportquote stieg von 2008 bis 2018 um das 3,6-fache auf 51 %.
     
  • Seit 2008 wurden sechs neue Mitarbeiter eingestellt, gut eingearbeitet und vollständig integriert; unsere Mitarbeiterzufriedenheit liegt bei 90 % und wir wurden 2012 Mitarbeiterchampions.
     
  • Wir konnten unser Produktionsgebäude 2014 und 2018 ohne Fremdkredite baulich nahezu verdoppeln und uns viele neue Geräte für Produktion, Qualitätskontrolle und Forschung leisten, die nun unsere Prozesse effizienter machen und allerhöchste Qualität sichern.
     
  • Insgesamt 36 wissenschaftliche (auch europäische) Projekte mit insgesamt über 3 Mio. € Fördersumme konnten erfolgreich abgeschlossen werden, mit denen 27 neue, marktfähige Produkte entwickelt wurden.
Team der Allresist GmbH. 
Fotografin: Julia Otto

Wie geht es weiter mit der Excellence?

Mit der Verleihung des Ludwig-Erhard-Preises 2012 wurde uns bereits damals ein sehr hohes Niveau an nachhaltigen wirtschaftlichen Spitzenleistungen im Einklang mit sozialem und ökologischem Engagement attestiert. War jetzt die Zeit gekommen, die Füße nach den Anstrengungen hochzulegen und den Erfolg zu genießen?

Quelle: Allresist/Ludwig-Erhard-Preis

Dann hätten wir das EFQM-Modell nicht wirklich verstanden! Das geschaffene Instrumentarium aus Leitbild, Strategie, Geschäftsplan, Prozessoptimierung, enger Kundenbeziehung, hoher Mitarbeiterzufriedenheit und wissenschaftlichen Erfolgen muss täglich gepflegt und weiterentwickelt werden. Wir haben zwar ein hohes Niveau geschaffen, doch darf die Entwicklung nicht stagnieren.

Durch unsere Überzeugung sind wir beide auch als Assessoren bei anderen Unternehmen unterwegs, wollen unsere guten Erfahrungen einfach weitertragen und ein Vorbild für andere Unternehmen sein. Das ist wahrlich kein dünnes Brett, was man da bohrt. Wie wir gezeigt haben, ist für lange Zeit viel Kraft zu investieren, ehe sich die Erfolge einstellen. 

Diesen Aufwand scheuen viele in ihrem ohnehin schon anstrengenden Tagesgeschäft. Das veranschaulicht sehr gut folgende Metapher: Ein Holzfäller fällt mühsam mit einer stumpfen Axt Bäume. Ein Mann kommt vorbei und sagt: „Schärfe doch deine Axt, dann bist du schneller“. Der Holzfäller antwortet: „Keine Zeit, ich muss Bäume fällen.“

Wir wären sehr froh, wenn Sie dieser Beitrag zum Nachdenken über das Excellence-Modell angeregt hat. Vielleicht prüfen Sie dies auch für Ihr Unternehmen?

Uns ist bewusst, dass Allresist über besonders gute Voraussetzungen verfügte, weil wir die Nachhaltigkeit von Anbeginn lebten. Visionäre sind in der entscheidenden Leitungsebene zwingend erforderlich, die auch das erforderlich Budget zur Verfügung stellen und ihre Mitarbeiter inspirierend führen. 

Kleine und besonders Familienunternehmen scheinen uns dafür prädestiniert zu sein, auch ohne gleich den aufwändigen Ludwig-Erhard-Preis anzustreben. Überall in Deutschland gibt es Wettbewerbe, die einen Weg in Richtung Excellence weisen. Selbst wenn der Qualitätspreis Berlin-Brandenburg leider nicht mehr existiert, gibt es andere Möglichkeiten wie zum Beispiel auch die Qualitätsauszeichnung.

Dort können sich kleine Unternehmen in wenigen Stunden anhand von 28 Fragen selbst bewerten, und zwar mit Fragen wie: „Wie beurteilen Sie Ihre Kunden?“ „Gibt es ein Risikomanagement?“ „Ist die Nachfolge gesichert?“.

In Brandenburg werden jedes Jahr 7.000 meist kleine Unternehmen geschlossen, weil sie keinen Nachfolger haben. Die Qualitätsauszeichnung könnte helfen, dies zu verhindern.

Wie geht es mit Allresist in Zukunft weiter?

Die drei Gesellschafter Brigitte, Matthias und Ulrike Schirmer v.l.n.r. Fotografin: Julia Otto

Wir haben mit Hilfe des Excellence-Modells Allresist zu einem weltweit beachteten Unternehmen aufgebaut und uns eine kleine Insel geschaffen, in der wir unsere nachhaltigen Ziele und Wünsche mit allen Partnern des Unternehmens umsetzen.

Unsere Hightech-Produkte CSAR 62, Electra 92, Atlas 46 und Medusa 82 „Made in Strausberg“ erfreuen sich großer Beliebtheit bei den Kunden im In- und Ausland. Das alles ist uns mit unserem engagierten, gut ausgebildeten Team gelungen und stellt unser Lebenswerk dar. 

Im Unternehmen steht bereits jetzt ein gut vorbereiteter und gecoachter Nachfolgerkreis zur schrittweisen Übernahme der Verantwortung bereit, damit sich wir Gründer ab 2024 nach und nach zurückziehen können. Zu unserem großen Glück wird unsere Tochter Ulrike das Unternehmen weiterführen und 2024 mit als Geschäftsführerin einsteigen. 

 

Hintergrund: Was sind Resists und wozu werden sie benötigt?

Resists sind lichtempfindliche Lacke, die aus Polymeren, lichtempfindlichen Komponenten und organischen Lösemitteln bestehen. Diese Bestandteile werden nach festgelegten Rezepturen in Rührbehältern gemischt, nach der Freigabe ultrafein filtriert (0,2 μm) und in lichtgeschützte Flaschen abgefüllt. Die hierfür gängigen Strukturierungstechnologien sind die Elektronenstrahllithographie, für die E-Beamresists benötigt werden, und die Photolithographie, die Photoresists einsetzt.

Chip- und Sensorhersteller tragen ihre benötigten Lacke mittels Schleuderbeschichtung in dünnen Schichten, typischerweise 1 μm dick, auf ihre Halbleitersubstrate (Wafer) auf. Dann belichten sie die gewünschten Strukturen mittels UV-Strahlen bei der Photolithographie durch Photomasken. Dadurch verändern sich die chemischen Eigenschaften der belichteten Flächen. Nach dem Entwickeln bleibt der unbelichtete Teil der resistenten Lackschicht stehen. Daraus leitet sich die Bezeichnung „Resist“ ab, sie stammt von dem Begriff Résistance = Widerstand. Die Lackstellen schützen das Substrat bei nachfolgenden Ätz- oder Dotierungsprozessen.

Aus diesen bearbeiteten Strukturen werden Mikrochips, die z.B. in allen elektronischen Geräten (Computer, Smartphones, Uhren, Sensoren u.v.a.) eingesetzt werden.