SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH

4. NRW Nano-Konferenz

Stand 31

SENTECH vertreibt Anlagen zur Plasma-Prozess-Technologie (Ätz-/Beschichtungsanlagen, ALD, ALE) und Messgeräte zur optischen Dünnschichtmesstechnik (Ellipsometer und Reflektometer).

Produkte

Plasma-Prozess-Technologie:ICP Ätzanlage für schädigungsarmes Ätzen, RIE Ätzanlage, ICPECVD Anlage für schädigungsarmes Beschichten, ALD und ALE Anlagen. Alle Anlagen können in einen Cluster integriert werden.

Optische Dünnschichtmesstechnik:SENresearch 4.0 mit breitem Spektralbereich von 190 – 3.500 nm, SENDIRA MIR spektroskopisches Ellipsometer, SENDURO MEMS eine automatisierte Messplattform, Laser Ellipsometer u.a.

Dienstleistungen

Auftragsmessungen, Auftragsbeschichtungen, Auftragsätzungen