MEMS-Infrarot-Strahler für die Gasanalyse


Quelle: CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
16.08.2019 Moderne und genaue Gassensoren basieren auf dem NDIR-Messkonzept, bei dem eine breitbandige Infrarotlichtquelle benötigt wird, um die gasspezifische Lichtabsorption im IR zu bewerten. Der Übergang von klassischen Glühwendeln hin zu mikro-elektro-mechanischen (MEMS) Lösungen bietet dabei eine ganze Reihe von Vorteilen.

MEMS-IR-Strahler sind ideal geeignet für mobile Sensorlösungen und stationäre Anwendungen

Zum einen sind die MEMS-Lösungen deutlich kleiner und schockresistenter, was die optische und mechanische Einbindung in das Sensorsystem vereinfacht. Zum anderen nehmen diese IR-Quellen signifikant weniger Leistung auf und sind deutlich schneller im Ein- und Ausschaltverhalten – ein wichtiger Aspekt für Sensoren mit gutem Signal-Rausch-Verhalten. Das macht MEMS-IR-Strahler zum Mittel der Wahl sowohl bei mobilen Sensorlösungen als auch bei stationären Anwendungen mit hohen Anforderungen, wie z.B. in der Atemgasanalyse, der Prozessmesstechnik oder der Umweltüberwachung.

Das CiS Forschungsinstitut entwickelt und fertigt solche MEMS-IR-Strahler für verschiedene kundenspezifische Anwendungen. Neben verschiedenen Bauteilgrößen und Leistungsklassen, werden innovative Lösungen für Strahler mit erhöhter Dynamik, verbesserten Emissionseigenschaften und hoher Lebensdauer im Einsatz angeboten. Darüber hinaus bietet das CiS verschiedene Lösungen für Infrarot-Detektoren, Leistungen zur Aufbau- und Verbindungstechnik, Hermetisierung sowie der Integration in die Sensorsysteme von Kunden und Entwicklungspartnern.

Kontakt: Dr. Martin Schaedel, CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
mschaedel@cismst.de