Fluoreszierende und farbige Resists für die Optik und Sensorik

Fluoreszierende E-Beamstrukturen mit SX AR-P 672.08 links in gelbgrüner und rechts in roter Fluoreszenz, AR-Logos in einer Farbpalette und Siemensstern in einer 23 µm dicken Schwarzlackschicht.
Quelle: Allresist GmbH
20.10.2017 Die Allresist GmbH bietet im 25. Jahr ihres Bestehens fluoreszierende und farbige Resists für die Optik und Sensorik an.

Für die Eigenschaft der Fluoreszenz werden hochauflösende PMMA- und CSAR 62 E-Beamresists mit fluoreszierenden Komponenten versehen, die bei UV-Anregung hell leuchten. Ein markantes Anwendungsbeispiel sind die sehr feinteiligen Skalen in Nachtsichtgeräten.

Das Unternehmen bietet außerdem unterschiedlich gefärbte Negativ-Photoresists unter der Bezeichnung SX AR-N 8500 an. Ein typisches Anwendungsbeispiel ist ein Color Filter Array, mit dem die Farbechtheit überprüft werden kann. In einem üblichen photolithographischen Verfahren mit wässrig-alkalischen Entwicklern können die hierfür gewünschte hohe Auflösung und Kantenschärfe erreicht werden. Eine weitere Besonderheit in der Produktpalette ist ein Schwarzlack. Dieser Resist hat, in Abhängigkeit von der Schichtdicke, eine komplette Absorption im spektralen Bereich von 300 bis 750 nm und kann dennoch gut strukturiert werden. Sogar bei einer hohen Schichtdicke von 23 µm ist eine Strukturierung mit der üblichen Photolithographie realisierbar.

Kontakt: Brigitte Schirmer, ALLRESIST GmbH
brigitte.schirmer@allresist.de